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FRL和真空部件的空气供应或控制介质必须是无湿气的温度可以降到冰点以下4阀门和FRL维护和更换说明4.1.维护：即使正确选择和安装，阀门、FRL和真空产品的使用寿命也可能**缩短没有持续的维护计划。应用程序的严重性、组件故障的潜在风险和经验如果应用或类似应用中存在任何已知故障，则应确定检查频率和维修或更换频率更换飞兆半导体产品，以便在发生任何故障之前更换产品。维护计划必须由用户制定和遵循，并且至少必须包括说明4.2至4.10。4.2.安装和维修说明：在尝试维修或更换任何磨损或损坏的零件之前，请询相应的有关阀门或FRL的维修公告，以了解维修有关装置的适当做法。这些服务和安装说明随售的每个飞兆半导体阀门和FRL一起提供。4.3.上锁/挂牌程序：维修设备时，确保遵循所有要求的上锁和挂牌程序。美国PROPORTION-AIR比例阀 QB1TANEEZP0.7MPA(SN1160427)比例控制阀QB1TFIC073S80S252压力控制阀QB1TFEEN29.重庆流量控制阀电磁阀交货期

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