江西非接触式传感器应用案例

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，期待您的光临！江西非接触式传感器应用案例

部分案例应用领域：非常适合测量距离、半径、角度、弧度等尺寸的检测。适用于电子、机械加工、五金、塑料加工、汽车等行业。常见的工件包括冲压成型件、注射成型件或激光切割件。一键测量闪测仪是一种新型的影像测量技术，它和传统的二次元影像测量仪不同的是它不再需要光栅尺位移传感器作为精度标，也不要经过大焦距的镜头经过放大产品影像来保障测量精度。传统测量工具多年来精密测量业里流行着这么一句话：影像测量仪是传统投影仪的替代产品，影像测量仪将取代传统投影仪。如今我们将再一次打破传统，闪测仪将取代影像测量仪和传统投影仪。一键测量闪测仪技术参数表格内蒙古2D 测量传感器品牌机械手表：用于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°；高达±88°的漫反射。

光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一

什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。使用简单，拆装方便，扫描速度快，定位精度高重复精度±0.5~±1µm；稳定性高，抗干扰能力强。

光谱共焦位移传感器￭外形尺寸测量￭空气夹层测量￭厚度(透明物体)测量￭段差高度(非透明物体)测量￭外形轮廓测量￭表面型貌测量￭表面粗糙度测量￭表面微小划痕测量￭三维测量￭平面度测量优势•￭高分辨率，比较高可达纳米级•￭高精度，比较高可达16纳米•￭同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区•￭可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面•￭物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•￭可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度使用亚微米级分辨率测量微流体每秒可测量360,000点。山西Marposs 传感器解决方案

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注意事项：•当整理光纤线时避免将其弯曲成曲率半径小于20mm的圆弧。•当不用光纤连接时，为了避免光纤头被污染，插口必须被保护盖盖住，否则可能导致传感器出故障。你知道光谱共焦传感器为什么采用LED白光吗？其实大家知道混色光是由众多不同波长光线组成的，我们称之为光谱。下面跟着小编一起来了解下光谱共焦传感器使用LED白光的原因吧：所有不同波长的可见光重叠在一起，形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm(蓝光)到700nm(红光)。通过透镜，不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。江西非接触式传感器应用案例