沈阳双级滑阀真空泵

真空泵的主要参数有那些？真空泵的主要参数：（1）抽气速率：真空泵的抽气速率也叫生产能力，在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/s或m3/h表示。（2）残余压力：也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的较低压力，单位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。（3）真空泵抽气量：在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量，单位m3/h。（4）起动压力：真空泵开始工作时的压力。真空泵的使用需要注意安全问题，如防止泵体爆裂、防止泵油泄漏等，以保障人员和设备的安全。沈阳双级滑阀真空泵

真空泵适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围，因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。肇庆真空预压泵现货真空泵的维修需要专业技术人员进行，避免因操作不当造成设备损坏或人员伤害。

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

水环式真空泵，通常来说所用的工作液都是水。效果在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被紧缩的气体，这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一同紧缩，在紧缩过程中发生的热量被带走。因而需要不断的补偿新鲜的水，以使水环泵的工作温度可以保持稳定。在水环式真空泵中，其工作温度约为15-20℃，它取决于所补偿水的温度。当转至泵的出口时，构成的气泡初步分裂。这样就会发生很大的噪声，一同泵的驱动轮和泵腔等部件被逐步损坏。这种表象通常称作气蚀表象，一旦气蚀表象发生，就要通过小阀引入少量的新鲜空气。在这种情况下，在进口官道上开个小孔，以便定量地参加些新鲜的其他，假设运用气体喷射器，气蚀表象就不会发生了。真空泵是一种用于制造高真空环境的设备，应用于半导体、光学、化工等行业。

真空泵的分类是什么？按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。真空泵的使用需要注意成本问题，如选择合适的泵型、合理使用泵油等，以降低成本和提高效益。镇江油旋式真空泵

真空泵在半导体行业中的应用非常广，用于制造芯片、光刻机、薄膜沉积等工艺。沈阳双级滑阀真空泵

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。特点:(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大幅降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。沈阳双级滑阀真空泵

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