真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。当真空泵的工作压力接近于其极限压力时，其实际抽速就趋近于零。潮州真空吸水泵
变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式）及其它型式。国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“1”省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S) 。真空泵的种类繁多（干式螺杆泵、旋片泵、罗茨泵、水环泵、涡旋泵、爪泵等），应用范围广（冶金、化工、食品、半导体、电子电力等）。真空泵是在力的作用下对被抽容器进行抽气从而维持真空的装置。广州油扩散真空泵真空泵的抽速还与气体的种类有关。
油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。油封式真空泵工作原理：用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油封式真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得较小时，与泵的入口管道连通，于是气体进入泵吸入腔，一直到吸入腔容积并重新与进气口分开时为止。当容积减少时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。
干式机械真空泵的应用是普遍的，主要有以下几个方面：1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。在不同的压力范围内，真空泵的抽气效率是变化的。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。对电动泵进行维修时，也要确保穿戴上绝缘手套和保护头盔。从真空泵产业链来看，上游是关键零部件主要包括导管、保温罩和加热器。河源气环真空泵
真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净，防止冻裂。潮州真空吸水泵
爪型干式真空泵当电机开始工作时，电机通过电机齿轮传递给介轮，再由介轮传递给主动齿轮带动同步从动齿轮做同步反方向运转，主动轴、从动轴便带动一级转子、二级转子、三级转子、四级转子进行连续吸排气做功，被抽气体通过进气口,进入进气口通道，在一级转子对的压缩下，一级泵腔内的气体通过一级排气道,进入二级泵腔，二、三、四级泵腔内的气体做同样的运动，经四级排气道进入冷凝缓冲区，液体流向排液道,通过液体收集口可直接回收，残存气体通过消声器，排气口排出泵外，从而起到抽真空以及气液分离的作用。潮州真空吸水泵