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下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的整机尺寸、真空腔体尺寸。1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架：2块3.室温+10℃-250℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：0.5℃4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）。选用定制气氛炉有哪些好处呢？合肥真萍科技为您介绍。嘉兴气氛炉供应商家

各种气氛炉的密封性要求高，装，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度，为了保证气氛的稳定性，气氛炉可分为马弗炉和无马弗炉两种，马弗炉的火焰在马弗外，工件在马弗内进行间接加热；无马弗炉采用各种火焰辐射管或者电辐射管，将火焰或者电热体与炉气隔开，以免破环炉内气氛的稳定。还原气体和空气混合达到一定混合比，在一定温度下易引起，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。哪里有气氛炉厂家直供气氛炉哪个性价比高？合肥真萍科技告诉您。

无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。下面为大家介绍一下真萍科技无氧干燥箱。一、技术指标与基本配置：1.使用温度：RT～260℃，极限温度：300℃；2.炉膛腔数:2个,上下布置；3.炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：K分度4.温度和氧含量记录:无纸记录仪；二、氧含量（配氧分析仪）：1.高温状态氧含量：≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量2.控温稳定度：1℃；2.3温度均匀度：2%℃（260℃平台）；

本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱，首先简单介绍一下HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。气氛炉如何选择？合肥真萍科技告诉您。

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜的氮气监控系统。1.2.3寸LED大屏幕数字显示湿度/温度。2.温湿度显示值0.1％-99.9％RH，温度显示值0.1℃-60.0℃。3.温湿度收集采准确传感器，长距离传输无误差。4.湿度控制：4.1利用湿度设定值来控制氮气流入，到达湿度设定值即停止进气，节省氮气耗用。4.2湿度在1％-60％RH可调整。气氛炉常见的用途有哪些？合肥真萍告诉您！生产气氛炉专卖

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1、以硅碳棒为加热元件，炉体采用双层炉壳结构，双层风冷系统，可以快速升降温，炉壳表面温度低；2、炉门、炉顶采用高温硅橡胶密封，炉门配备水冷系统。炉体上有进气口、出气口、抽真空口；3、炉膛材料采用质量的进口氧化铝多晶纤维真空吸附制成，节能50%，加热元件采用硅碳棒；4、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序等功能，该控制系统温度显示精度为1℃，温场稳定度±5℃，升温速率1~20℃可任意置；5、可以通氢气、氩气、氮气等其他气体，并能预抽真空，真氛压力可以达到0.1Mpa,炉体采用厚钢板加工而成，安全可靠，符合国家标准。嘉兴气氛炉供应商家