不锈钢工业烤箱非标定制

HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。工业烤箱的功能具体介绍！不锈钢工业烤箱非标定制

箱体结构：1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N2进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。3保温材料：采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，有效的防止了热能浪费。4电热部分：采用进口覆套式电热器（SHEATHEDHEATER）无尘无氧化电热发生器。淮安哪里有工业烤箱工业烤箱的作用是什么？合肥真萍告诉您。

可靠的测控系统1温度控制装置：进口温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶3温度监控装置：采用六通道巡回检测有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。完善的控制系统，及安全防护措施1操作控制系统，采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制，更快速，更稳定。2防护措施：紧急停止，超温保护,断线报警，相序保护，过载保护，短路保护，漏电保护，及电磁门禁保护等

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。氮气监控系统：1.1、2.3”LED大屏幕数字显示湿度/温度。1.2、温湿度显示值0.1％-99.9％RH，温度显示值0.1℃-60.0℃。1.3、温湿度收集采准确传感器，长距离传输无误差。1.4、湿度控制：2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入，到达湿度设定值即停止进气，节省氮气耗用。2.4.2湿度在1％-60％RH可调整。1.5、温湿度记录功能：2.5.1内建内存，可储存温度/湿度，收集时间1~240分钟可自行设定。2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。2.5.3品管记录格式设计，有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。1.6、湿度警报系统：1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件，内配蜂鸣器（90分贝）及闪烁警示功能。1.6.2可另外选配积层式警示灯。1.7、温湿度偏移校正功能：内建校正功能，确保显示准确度。使用工业烤箱前的检查步骤。

1、本烘箱由室体、加热系统、电气控制系统、送风系统、保护系统等组成。2、箱体采用先进设备制作、业内的制造工艺流程、线条流畅、美观大方。3、工作室材质为不锈钢、外箱材质为优良冷轧钢板，产品外壳使用环保金属漆喷制，整体设计美观大方，适合较好实验室的颜色搭配。4、工作室内的搁架不可调节。5、工作室与外箱之间的保温材质是优良超细玻璃纤维保温棉，保温厚度：＞70mm，隔温效果好，国内，高性能的绝缘结构。从内到外有内腔、外壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆结构独特，极大减少了内腔热量的外传。6、门与门框之间采用高性能密封材料及独特的橡胶密封结构，密封、耐高温性、抗老化性好。选用定制工业烤箱有哪些好处呢？合肥真萍科技为您介绍。不锈钢工业烤箱非标定制

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中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。一、热工系统1.额定温度800℃2.较高温度850℃3.加热元件陶瓷外丝加热管4.加热功率18kw5.空炉保温功率约9kw6.温区个数1个7.控温点数2点8.热偶K分度9.控温稳定度1℃(恒温平台)10.炉膛温度均匀度6℃（恒温800℃,1h）二、气氛系统1.炉膛气氛2路氮气，流量计量程为2～20L/min；每路流量可调节2.排气系统在炉膛顶部设置一个排气*囱，用于废气排放，废气3.经过水封清洗后进入大气中，减少对环境污染4.氧含量配氧含量分析仪分析氧含量：5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量三、冷却系统1.冷却结构无2.产品降温随炉降温3.安全保护4.报警指示超温、断偶、停水、停气等声光报警保护5.设备安全升温速率≤5℃/min四、温度控制系统1.温度测量采用K分度热偶测量2.控制仪表采用进口智能调节仪控制。具有PID参数自整定、高温3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能4.控制方式固态继电器过零控制5.超温处理⑴.当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警。⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时，报警。不锈钢工业烤箱非标定制