自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。2017年投产X系列半自动探针台并成功推向市场,成功填补国内该研发生产领域的空白。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断,发出合格与不合格的信号。北京直流探针台报价
探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。江苏半自动探针台哪里有探针台可编程承片台则安装在动子之上。
初TI退休工程师杰克·基比(JackSt.ClairKilby)发明颗单石集成电路,为现代半导体领域奠定基础时,晶圆直径不过1.25英寸~2英寸之间,生产过程多以人工方式进行。随着6英寸、8英寸晶圆的诞生,Align/Load的校准工作和一些进阶检测也开始自动化;直到12英寸晶圆成形,可谓正式迈入“单键探测”(OneButtonProbing)的全部自动化时代,就连传输也开始借助机器辅助;但此时的测试大都是转包给专业的厂商做,且大部分是着重在如何缩短工艺开发循环的参数测试上。
晶圆探针器是用于测试集成电路的机器(自动测试设备)。对于电气测试,一组称为探针卡的微观触点或探针被固定在适当的位置,同时真空安装在晶圆卡盘上的晶圆被移动到电接触状态。当一个管芯(或管芯阵列)经过电气测试后,探针台将晶片移动到下一个管芯(或管芯),下一个测试就可以开始了。晶圆探针台通常负责从载具(或盒子)装载和卸载晶圆,并配备自动模式识别光学器件,能够以足够的精度对准晶圆,以确保晶圆上的接触垫和探针针尖之间的准确对准。探针卡焊完后使针尖刚好回到压点中心,同时针焊好后应检查针尖的位置,检查针的牢固性。
x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很中心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在小编只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一一介绍。平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。探针台广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。江苏半自动探针台哪里有
探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节,负责晶圆的输送与定位。北京直流探针台报价
探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号,保证半导体产品品质的重要检测设备。下面我们来了解下利用探针台进行在片测试的一些相关问题,首先为什么需要进行在片测试?因为我们需要知道器件真正的性能,而不是封装以后的,虽然可以去嵌,但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试,在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统,主要包括:矢量网络分析仪,线缆,探针,探针定位器,探针台,校准设备及软件,电源偏置等。北京直流探针台报价