如何选择真空计?考虑测量范围与精度:不同的真空计有不同的测量范围,需要根据实际需求选择。例如,热阴极电离真空计适用于高真空环境(10-11 mbar),而热阻式真空计则适用于气压在10-9 mbar范围内的测量。精度是选择真空计时需要考虑的另一个重要因素。需要根据物体不同的尺寸、物理量等来选择精度要求更高的真空计。考虑被测气体与环境:部分真空计对被测气体有要求。例如,热阴极电离真空计的阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害,因此需要考虑被测气体是否会对真空计造成损伤。部分真空计会影响被测环境。例如,压缩式真空计在测量时要压缩被测气体,这可能会使水蒸气凝结,从而影响被测真空环境。真空计的读数可能会受到外部环境因素的影响。苏州高精度真空计生产企业
皮拉尼真空计利用惠斯通电桥的补偿原理,通过测量一个发热体与一个接收发热体之间的热传导程度来判断气体的压力。具体来说,当加热灯丝(一般为铂丝)被恒定电流加热时,其温度会升高。对于给定大小的电流,加热丝的温度取决于通过传导和对流向周围介质(即气体)散热的速率。在真空或低压环境中,加热丝的热导率(即将热量散发给周围介质的能力)会降低,导致加热丝变得更热。这种温度变化会引起导线电阻的变化,这种变化可以通过惠斯通电桥来测量。当气体分子密度发生变化时,热量从金属丝传递到气体会受到影响。这种热损失取决于气体类型和压力,使金属丝保持在一定温度下所需的能量也相应变化。因此,可以通过测量这种能量变化来间接测量真空压力。上海mems真空计设备厂家真空计使用过程中常见的问题有哪些?
皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳,内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路,并负责信号放大和信号数字化的工作。
此外,皮拉尼真空计还常用于监测从大气到高真空区域开始的泵送过程(如涡轮分子泵或其他高真空泵接管该区域)、在真空冶金行业(在受控环境中制造的高纯度合金)中确保不同薄膜涂层系统的工艺一致性和优化等方面。
综上所述,皮拉尼真空计作为一种热传导式真空计,具有较大的测量范围、较好的重现性、较低的制作成本和合适的价格等优点。同时,它也存在一些缺点,如对不同气体的测量精度差异和对污染的敏感性等。因此,在选择和使用皮拉尼真空计时,需要根据具体应用场景和需求进行综合考虑。
皮拉尼真空计在多个领域有着广泛的应用,包括但不限于:
化学工业:用于监测化学反应过程中的真空度变化。电子与微电子领域:用于半导体制造和微电子器件生产过程中的真空度测量。气相沉积:用于监测气相沉积过程中的真空度变化。电子束焊接:用于电子束焊接过程中的真空度测量。真空冶金:用于真空冶金过程中的真空度监测。此外,皮拉尼真空计还常用于监测从大气到高真空区域开始的泵送过程(如涡轮分子泵或其他高真空泵接管该区域)、在真空冶金行业(在受控环境中制造的高纯度合金)中确保不同薄膜涂层系统的工艺一致性和优化等方面。 电容真空计的测量精度受哪些因素影响?
不同类型的真空计采用不同的物理机制进行测量,主要包括以下几类:
利用气体动力学效应的真空计:如皮拉尼电阻规和热电偶规,它们利用气体在流动过程中产生的热效应或电效应来测量真空度。皮拉尼电阻规是利用电阻与温度之间关系的原理工作的,由于不同气压下气体分子热传导能力不同,当给热丝加恒定的电流时,由于气压不同通过气体传导走的热量不同,热丝所保持的温度就不同,这导致热丝电阻大小不同,通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致,只是它不用测量热丝电阻的变化,而是用热电偶直接测量热丝的温度变化。
利用带电粒子效应的真空计:如热阴极电离规和冷阴极电离规,它们通过测量气体分子在电离过程中产生的电流来推算真空度。这类真空计在高真空领域具有极高的测量精度。 电容真空计在哪些领域有应用?无锡高纯度真空计公司
电容真空计的校准通常需要使用已知真空度的标准真空源或真空计进行比对。苏州高精度真空计生产企业
真空计是一种用于测量气体压力的仪器,主要应用于高真空环境中的设备和系统的研究、制造和测试。其工作原理是通过测量气体在不同压力下对传感器的影响来进行压力测量。常见的真空计包括热导式真空计、热阴极离子化真空计和毛细压力计等。热导式真空计通过测量气体传热的方式来测量压力,热阴极离子化真空计则利用气体分子的离子化电流来测量压力,而毛细压力计则利用毛细管的表面张力和气体压力之间的关系来测量压力。真空计在科学研究、电子制造、航空航天等领域都有较广的应用。 苏州高精度真空计生产企业