依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等,对硅单晶片化学机械抛光(CMP)机理、动力学控制过程和影响因素研究标明,化学机械抛光是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:(1)抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。(2)抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,则表面产生高损伤层。 哪家公司的抛光液的品质比较好?杭州中性抛光液性能
目前LED芯片主要采用的衬底材料是蓝宝石,在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高,普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底表面进行减薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用“软磨硬”的原理很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。随着LED行业的快速发展,聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。CMP技术还的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是目前的可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。 杭州中性抛光液性能苏州质量好的抛光液的公司联系方式。
硝酸铅、糊精、阿拉伯树胶:单独或协同运用可用作硝酸-氟化氢铵型抛光溶液能减少抛光流程中对铝的蚀刻速率,糊精和阿拉伯树胶还能改进其光泽性。除以上添加剂外还有铬酐、三价铬、锌、磺化物、氨基酸、草酸、阴离子表面活性剂、柠檬酸等都能够做为旨在改进抛光质量的加入物质。尤其需要一提的是三价铬和氨基酸,适合的加入量可得到带蓝白的抛光效果。氯离子和氟离子使抛光面粗化,适当的氟离子能够得到均匀而细的粗化面,氯离子使整个表层状态劣化。
化学抛光液的常见组分及作用;1、硝酸银:能提高光泽度,是化学抛光中较常用的添加剂,但添加量不能过多,不然易于产生蚀点,银离子不能祛除抛光流程中造成的透光度不好的问题,普通三酸或磷酸-硝酸抛光添加量通常控制在10-150mg/L;不包含硝酸或低硝酸添加量为0.2~1mg/L;2、硝酸铜(或硫酸铜):能提升光泽度但比不上银盐的效果明显,但铜盐能改进在抛光流程中造成的透光庋不好的问题,铜的添加量相比于银盐而言要大很多,但铜盐添加过多易于在产品工件外表出面条纹、蚀点等,铜离子过多时经抛光后的铝合金外表会有一层的置换铜层,其添加量通常可取0.1~5g/L。哪家的抛光液性价比比较高?
氧化硅抛光液经过严格的粒径控制和专业的加工工艺。该产品抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。产品特点:1.分散性好、不结晶。2.粒径分布***:5-100nm。3.高纯度(Cu2+含量小于50ppb),有效减小对电子类产品的沾污。4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液,纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。使用方法:1.可根据抛光操作条件用去离子水进行5-20倍稀释。2.稀释后,粗抛时调节PH至11左右,精抛时调节PH至9.5左右。pH调节可以用10%的盐酸、醋酸、柠檬酸、KOH或氨水在充分搅拌下慢慢加入。3.循环抛光可以用原液。性价比高的抛光液的公司。广州国产抛光液厂商
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氧化铝抛光液。α-氧化铝(刚玉)硬度高,稳定性好,纳米氧化铝适用于光学镜头、单芯光纤连接器、微晶玻璃基板、晶体表面等方面的精密抛光,是一种使用的无机磨料。现在以高亮度Ga N基蓝光LED为的半导体照明技术对照明领域带来了很大的冲击,并成为目前全球半导体领域研究的热点。但由于Ga N很难制备,必须在其他衬底材料上外延生长薄膜,作为Ga N的衬底材料有多种,目前,蓝光和白光LED 芯片均采用蓝宝石晶片或碳化硅晶片为衬底晶片,因此,晶片的抛光也成为关注的焦点。近年来,国际上采用了一种新的工艺,即用Al2O3抛光液一次完成蓝宝石晶片研磨和抛光,提高蓝宝石和Si C晶片的抛光效率。杭州中性抛光液性能
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