主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。(1)实际测量的振动结果:AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。(2)不同负载下的振动传递率:AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。福建晶片隔振台
LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统?传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。福建晶片隔振台使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。
HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。
支撑面测试在系统运行时,推动支撑表面。灯不亮,除了可能会大力推动。如果可以轻松使灯点亮,则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用,并尝试适当地使结构变硬。请注意,该系统将在任何支撑表面上运行,但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。桌面选择桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生蕞好的结果,但是可以使用石板甚至是实心木板。对于的位置固定孔,请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意,也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。在这坚固的安装是绝队必要的。我们很乐意为您提供蕞佳安装建议方法。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。
TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计TS-300的隔离始于0.7Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。在纳米技术的时代,极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响,必须改善测量环境。上海高校隔振台
手次使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。福建晶片隔振台
关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振动传递率横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,蕞大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。福建晶片隔振台
岱美仪器技术服务(上海)有限公司正式组建于2002-02-07,将通过提供以半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等服务于于一体的组合服务。岱美中国经营业绩遍布国内诸多地区地区,业务布局涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等板块。随着我们的业务不断扩展,从半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等到众多其他领域,已经逐步成长为一个独特,且具有活力与创新的企业。值得一提的是,岱美中国致力于为用户带去更为定向、专业的仪器仪表一体化解决方案,在有效降低用户成本的同时,更能凭借科学的技术让用户极大限度地挖掘EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi的应用潜能。