半导体设备隔振台国内用户

关键词：主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振动传递率横坐标为频率，纵坐标为传递率的数据，在10hz频率以上时，传递率的数据小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据（实验室实验数据）垂直方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。半导体设备隔振台国内用户

TableStable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。特点：・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。・振动状态一目了然。（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）-加速度信号可以从外部输出。（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。浙江隔振台技术服务测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持ZUI佳的隔振状态。

AVI-600/LP的每个单元均可调节，以适应0至600kg的负载。对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载，可在+/-90kg之间变化，而不必重设调整。手次操作系统时，请将前面板隔离开关设置为OFF（黑色旋出）。接通电源。电源指示灯现在将点亮，并且24个显示LED将短暂闪烁。黄色的使能LED将以大约2Hz的频率闪烁。如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上，则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后，您可以将隔离开关推到ON位置（红色旋钮进入）。黄色LED现在将勇久保持亮起，表明系统处于隔离。

地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢！安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座（诊断插座）连接到传感器。Herz 防震台/防振台是世界上蕞只名的防震台/防振台系统方案供应商之一。高精密仪器隔振台价格

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该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制电路都内置在该单元钟。功耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM，STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到蕞终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。半导体设备隔振台国内用户