研磨液按其作用机理分：机械作用研磨液，化学机械作用研磨液。机械作用的研磨液：以金刚石、B4C等为磨料，通过添加分散剂等方式分散到液体介质中，从而形成具有磨削作用的液体，称为金刚石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游离分布，利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理，实现工件的研磨、减薄。根据磨料的表面、颗粒大小及研磨液配置、研磨设备稳定性等情况，研磨完成后，工件表面容易留下或大或小的划痕。所以，机械作用的研磨液一般用于粗磨，后续还需要精密研磨抛光。哪家公司的抛光液是比较划算的？河南硅抛光液介绍氧化铝抛光液。α-氧化铝（刚玉）硬度高，稳定性好，纳米氧化铝适用于光学镜头、单芯光纤连接器、微晶玻璃基板、...

氧化铈抛光液。二氧化铈是玻璃抛光的通用磨削材料。随着工件尺寸的缩小，传统的硅容易在尺寸较大的集成电路STI（浅沟隔离）处形成蝶形缺陷。而针对STI的抛光，选择合适的抛光液是关键，采用氧化铈作为研磨颗粒的第二代抛光液，具有高选择性和抛光终点自动停止的特性，配合粗抛和精抛，能抛光液中二氧化铈的粒度是影响抛光效果的关键参数之一。目前制备出的二氧化铈的粒径多为微米级或亚微米级，粒度分布不均，粒径大的溶液产生划痕，严重影响到被抛光工件的抛光质量。因此，纳米级二氧化铈的制备及应用是目前研究的热点之一。够十分有效解决代STI工艺缺点，是目前重点发展的产品类型之一。抛光液的价格哪家比较优惠？佛山硅抛光液价格 ...

氧化铈抛光液1、产品名称稀土抛光液2、产品型号hnys-ceria-13、用途用于手机玻璃、精密光学玻璃抛光4、技术指标化学成分含量稀土抛光粉30-40%去离子水60-70%其他成分≤3%化学或物理指标数据D500.4-0.6µmD90≤1.5µm比重≥1.20g/cm3pH值8.0-9.5颜色白色备注：以上参数可根据用户要求适当调整。5、包装规格20公斤/桶、50公斤/桶6、注意事项使用前请摇匀或搅拌均匀；抛光前可加水稀释1-2倍后再使用，具体稀释比例根据用户现场工艺与设备自行确定。哪家公司的抛光液的是口碑推荐？广东钻石抛光液性能金属表面抛光技，又称表面整平技术，在整平程度要求很高的特殊情况...

不锈钢抛光液1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质，对环境友好。2.本产品分为粗抛、中抛、精抛三个级别。3.用于各种不同型号的不锈钢金属表面的各种效果要求的抛光。产品概述本产品是专门针对不锈钢抛光的一款高效抛光液，具有较好的化学物理抛光去除平衡，能快速达到抛光效果，而且无抛光橘皮、坑点等缺陷的产生。主要对不锈钢金属表明进行粗加工、中加工和精加工，以达到不同的抛光效果。主要成分：氧化铝/白刚玉/硅溶胶应用领域：1.适用于各种不锈钢材料的抛光，具有良好的抛光效果。2.主要应用在机械制造、电子零部件、仪表仪器、轻工、钟表零件、、航天、纺织器材、汽车零部件、轴承行业、医疗器械、精密件、工具等多种行业领...

化学机械抛光集中了化学抛光和机械抛光的综合优点，纯粹化学抛光腐蚀性大，抛光速率大，损伤低，表面光洁度高，但是抛光后的表面平整度差和表面一致性差；纯粹的机械抛光表面平整度和表面一致性较高，但是表面损伤大，光洁度低。而化学机械抛光在不影响抛光速率的前提下，既可以获得光洁度较高的表面，又可以提高表面平整度，是迄今可以提供整体平面化的表面精加工技术。目前国内外常用的抛光液有Si O2胶体抛光液、二氧化铈抛光液、氧化铝抛光液、纳米金刚石抛光液等。哪家抛光液质量比较好一点？重庆进口金刚石抛光液品牌光学玻璃抛光液是专为手机表面而研发的其操作简便，可视污渍的多少只需将光学玻璃抛光液用超声清洗、自动浸泡或手洗即...

化学抛光液的常见组分及作用；1、硝酸银：能提高光泽度，是化学抛光中较常用的添加剂，但添加量不能过多，不然易于产生蚀点，银离子不能祛除抛光流程中造成的透光度不好的问题，普通三酸或磷酸-硝酸抛光添加量通常控制在10-150mg/L；不包含硝酸或低硝酸添加量为0.2~1mg/L；2、硝酸铜(或硫酸铜)：能提升光泽度但比不上银盐的效果明显，但铜盐能改进在抛光流程中造成的透光庋不好的问题，铜的添加量相比于银盐而言要大很多，但铜盐添加过多易于在产品工件外表出面条纹、蚀点等，铜离子过多时经抛光后的铝合金外表会有一层的置换铜层，其添加量通常可取0.1~5g/L。哪家的抛光液价格比较低？上海基板抛光液加工 ...

抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，抛光液具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品显露出真实的金属光泽。性能稳定、无毒，对环境无污染等优点。抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品超过原有的光泽。产品性能稳定、无毒，对环境无污染等优点。光液使用方法编辑语音包括棘轮扳手、开口扳手，批咀、套筒扳手，六角扳手，螺丝刀等，铅锡合金、锌合金等金属产品经过研磨以后，再使用抛光剂配合振动研磨光饰机，滚桶式研磨光式机进行抛光。1、抛光剂投放量为（根据不同产品的大小，光饰机的大小和各公司的产品光亮度要求进...

研磨抛光液是不同于固结磨具，涂附磨具的另一类"磨具",磨料在分散剂中均匀、游离分布。研磨抛光液可分为研磨液和抛光液。普通研磨液用于粗磨，抛光液用于精密磨削。抛光液通常用于研磨液的下道工序，行业中也把抛光液称为研磨液或把研磨液称为抛光液的。分类编辑研磨液按其作用机理分：机械作用研磨液，化学机械作用研磨液。机械作用的研磨液：以金刚石、B4C等为磨料，经过添加分散剂等方式分散到液体介质中，从而构成具有磨削作用的液体，称为金刚石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游离分布，应用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理，完成工件的研磨、减薄。根据磨料的表面、颗粒大小及研磨液配置、研磨设备稳定性等情况...

氧化铝抛光液作为较终抛光液，是为了去除样品表面肉眼不可见的表面变形层。尤其是使用高倍物镜、偏振光、微分干涉或EBSD技术，来检测、评定样品时，去除这种微小变形是必需的。当采用含有溶胶氧化铝的MasterPrep氧化铝抛光液，可通过纯粹的机械抛光来***地去除材料，达到优异的表面处理效果。而如果选用其他种类的较终抛光液，比如具有弱碱性的***抛光液，那就要通过化学-机械的抛光方法与材料表面形成反应层，柔软的***去除反应层，也可得到高质量的表面，相比多了化学抛光过程。因此在实际应用中，常规情况选择氧化铝抛光液是十分普遍的。哪家的抛光液的价格低？山东物理抛光液价格查询硝酸铅、糊精、阿拉伯树胶：单独...

抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，抛光液具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品显露出真实的金属光泽。性能稳定、无毒，对环境无污染等优点。抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品超过原有的光泽。产品性能稳定、无毒，对环境无污染等优点。光液使用方法编辑语音包括棘轮扳手、开口扳手，批咀、套筒扳手，六角扳手，螺丝刀等，铅锡合金、锌合金等金属产品经过研磨以后，再使用抛光剂配合振动研磨光饰机，滚桶式研磨光式机进行抛光。1、抛光剂投放量为（根据不同产品的大小，光饰机的大小和各公司的产品光亮度要求进...

纳米抛光液应用范围：1、透明陶瓷：高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。2、化妆品填料。3、单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。4、**度氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。5、精密抛光材料、玻璃制品、金属制品、半导体材料、塑料、磁带、打磨带。6、涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。7、气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。8、催化剂、催化载体、分析试剂。9、汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘抛光液的类别一般有哪些？北京抛光液生产工艺氧化铈抛光液1、产品名称稀土抛光液2、产品型号hnys-ceria-13、用途用于手机玻璃、精密光学玻璃抛光...

氧化铝抛光液作为较终抛光液，是为了去除样品表面肉眼不可见的表面变形层。尤其是使用高倍物镜、偏振光、微分干涉或EBSD技术，来检测、评定样品时，去除这种微小变形是必需的。当采用含有溶胶氧化铝的MasterPrep氧化铝抛光液，可通过纯粹的机械抛光来***地去除材料，达到优异的表面处理效果。而如果选用其他种类的较终抛光液，比如具有弱碱性的***抛光液，那就要通过化学-机械的抛光方法与材料表面形成反应层，柔软的***去除反应层，也可得到高质量的表面，相比多了化学抛光过程。因此在实际应用中，常规情况选择氧化铝抛光液是十分普遍的。哪家公司的抛光液的是口碑推荐？河北宝石抛光液厂商研磨抛光液是不同于固结磨具...

抛光液通常用在金属加工流程中，是1种不包含任何的硫、磷、氯添加剂的溶水性抛光剂，抛光液有着较好的去油污，防绣，清洁和增光特性，并能使金属制品显现出真正的金属质感。特性稳定、无毒，对环境零污染等优势。化学抛光是借助抛光溶液对产品工件微观凹凸外表的膜层形成及融解速度不同而实现抛光的目地。有关于化学抛光的使用量现阶段并无一个的解释，有2种观点：借助产品工件在抛光流程中由于扩散的控制而形成的氧化膜层或置换层并遏制金属的融解速度，实现研磨的目地；与此原理有关的抛光溶液基本都是浓度高的，比如说较常用的三酸、二酸抛光等，由于这类抛光溶液的黏稠度高及添加物质的功效，期间扩散速度很低。充分利用化学抛...

高锰酸钾：可当作1种氧化剂添加到拋光溶液中，当抛光液中午硝酸时，加入高锰酸钾能够提升 光滑度和光亮度，在有高锰酸钾的情形下，在抛光溶液中加入一定量的硝酸铵时，黄烟的形成量会明显减少，甚至于没有黄烟。高锰酸钾的加入量一般5~10g/L。尿素：有着遏制氮氧化物逸出的功效，另外还能改进抛光效果，在运用尿素时要注意硝酸的使用量和温度，运用尿素时如控制不合理或抛光液中有催化性杂质存在时，尿素会促使硝酸的分解而形成大量的氮氧化物气体，另外也使抛光表层粗糙。抛光液公司的联系方式。湖北氧化锆陶瓷抛光液氧化硅抛光液经过严格的粒径控制和专业的加工工艺。该产品抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。产品特点：...

氧化铈抛光液。二氧化铈是玻璃抛光的通用磨削材料。随着工件尺寸的缩小，传统的硅容易在尺寸较大的集成电路STI（浅沟隔离）处形成蝶形缺陷。而针对STI的抛光，选择合适的抛光液是关键，采用氧化铈作为研磨颗粒的第二代抛光液，具有高选择性和抛光终点自动停止的特性，配合粗抛和精抛，能抛光液中二氧化铈的粒度是影响抛光效果的关键参数之一。目前制备出的二氧化铈的粒径多为微米级或亚微米级，粒度分布不均，粒径大的溶液产生划痕，严重影响到被抛光工件的抛光质量。因此，纳米级二氧化铈的制备及应用是目前研究的热点之一。够十分有效解决代STI工艺缺点，是目前重点发展的产品类型之一。抛光液的发展趋势如何。河南研磨抛光用抛光液价...

高锰酸钾：可当作1种氧化剂添加到拋光溶液中，当抛光液中午硝酸时，加入高锰酸钾能够提升 光滑度和光亮度，在有高锰酸钾的情形下，在抛光溶液中加入一定量的硝酸铵时，黄烟的形成量会明显减少，甚至于没有黄烟。高锰酸钾的加入量一般5~10g/L。尿素：有着遏制氮氧化物逸出的功效，另外还能改进抛光效果，在运用尿素时要注意硝酸的使用量和温度，运用尿素时如控制不合理或抛光液中有催化性杂质存在时，尿素会促使硝酸的分解而形成大量的氮氧化物气体，另外也使抛光表层粗糙。抛光液公司的联系方式。东莞研磨抛光用抛光液价格查询光学玻璃抛光液是专为手机表面而研发的其操作简便，可视污渍的多少只需将光学玻璃抛光液用超声清洗、自动浸泡...

氧化铝抛光液。α-氧化铝（刚玉）硬度高，稳定性好，纳米氧化铝适用于光学镜头、单芯光纤连接器、微晶玻璃基板、晶体表面等方面的精密抛光，是一种使用的无机磨料。现在以高亮度Ga N基蓝光LED为的半导体照明技术对照明领域带来了很大的冲击，并成为目前全球半导体领域研究的热点。但由于Ga N很难制备，必须在其他衬底材料上外延生长薄膜，作为Ga N的衬底材料有多种，目前，蓝光和白光LED 芯片均采用蓝宝石晶片或碳化硅晶片为衬底晶片，因此，晶片的抛光也成为关注的焦点。近年来，国际上采用了一种新的工艺，即用Al2O3抛光液一次完成蓝宝石晶片研磨和抛光，提高蓝宝石和Si C晶片的抛光效率。哪家公司的抛光液是比较...

化学抛光液的常见组分及作用；1、硝酸银：能提高光泽度，是化学抛光中较常用的添加剂，但添加量不能过多，不然易于产生蚀点，银离子不能祛除抛光流程中造成的透光度不好的问题，普通三酸或磷酸-硝酸抛光添加量通常控制在10-150mg/L；不包含硝酸或低硝酸添加量为0.2~1mg/L；2、硝酸铜(或硫酸铜)：能提升光泽度但比不上银盐的效果明显，但铜盐能改进在抛光流程中造成的透光庋不好的问题，铜的添加量相比于银盐而言要大很多，但铜盐添加过多易于在产品工件外表出面条纹、蚀点等，铜离子过多时经抛光后的铝合金外表会有一层的置换铜层，其添加量通常可取0.1~5g/L。多晶金刚石抛光液有良好的韧性，在研磨抛光过程中能...

镍离子：单独使用对于光泽度和透光度等基本上没什么特殊的贡献，但当与铜离子相互配合时能够提高抛光的透光性及光滑度，以合适的比例添加拋光溶液中能够得到光滑度及光泽度优异的抛光作用，添加量通常以铜的添加量为基准点，约为铜的10倍左右时其作用比较好(摩尔比以7~10倍为宜）。铵盐：对抛光的光度和光滑度等没什么特殊功效，但可提高抛光时氮氧化物的逸出，改进工作环境，铵盐能够硫酸铵、磷酸铵、硝酸铵的形式添加，要是以硝酸铵的形式添加切不可在高温下开展，先要将硝酸铵溶解于少量水或磷酸中再添加，铵盐的添加量没有一定的要求，通常以5~50g/L为宜，铵根离子浓度越高遏制氮氧化物逸出的作用越，要是以硝酸铵...

二氧化硅胶体抛光液是以高纯度的硅粉为原料，经过特殊工艺生产的一种高纯度金属离子型抛光产品。用于多种纳米材料的高平坦化抛光，如硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。由于二氧化硅粒度很细，约0.01-0.1μm，因此抛光工件表面的损伤层极微；另外，二氧化硅的硬度和硅片的硬度相近，因此常用于对半导体硅片的抛光。二氧化硅是抛光液的重要组成部分，其粒径大小、致密度、分散度等因素直接影响化学机械抛光的速率和抛光质量。因此二氧化硅胶体的制备也是抛光液中不可缺少的工艺。好的抛光液公司的标准是什么。东莞硅抛光液用途 目前LED芯片主要采用的衬底材料是蓝宝石，在加工过程中需要对其进行减薄和抛...

氧化铈抛光液1、产品名称稀土抛光液2、产品型号hnys-ceria-13、用途用于手机玻璃、精密光学玻璃抛光4、技术指标化学成分含量稀土抛光粉30-40%去离子水60-70%其他成分≤3%化学或物理指标数据D500.4-0.6µmD90≤1.5µm比重≥1.20g/cm3pH值8.0-9.5颜色白色备注：以上参数可根据用户要求适当调整。5、包装规格20公斤/桶、50公斤/桶6、注意事项使用前请摇匀或搅拌均匀；抛光前可加水稀释1-2倍后再使用，具体稀释比例根据用户现场工艺与设备自行确定。抛光液的类别一般有哪些？苏州宝石抛光液价格查询铜及铜合金抛光液1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质，对环境友...

研磨液按其作用机理分：机械作用研磨液，化学机械作用研磨液。机械作用的研磨液：以金刚石、B4C等为磨料，通过添加分散剂等方式分散到液体介质中，从而形成具有磨削作用的液体，称为金刚石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游离分布，利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理，实现工件的研磨、减薄。根据磨料的表面、颗粒大小及研磨液配置、研磨设备稳定性等情况，研磨完成后，工件表面容易留下或大或小的划痕。所以，机械作用的研磨液一般用于粗磨，后续还需要精密研磨抛光。质量比较好的抛光液的公司。河北抛光液在化学机械抛光中运用的氧化铝磨料，常选用硬度大、性能安稳、不溶于水、不溶于酸碱的纳米α-Al2O3。作为化学机械抛光...

硅片抛光液1.适用于硅片工件的抛光，具有良好的抛光效果。2.应用在航空航天、工业、农业和**等领域。（可根据客户的需求提供定制产品），产品概述本产品是专门针对硅片的一款高效抛光液，能快速去除表面缺陷，具有较好的化学物理抛光去除平衡，快速地抛出高质量表面，而且无抛光橘皮、坑点等缺陷的产生。主要成分：硅溶胶应用领域：1.适用于硅片工件的抛光，具有良好的抛光效果。2.应用在航空航天、工业、农业和**等领域。（可根据客户的需求提供定制产品）产品特点：1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质，对环境友好。2.本产品分为粗抛、中抛、精抛三个级别，用于硅片工件表面各种效果要求的抛光。3.使抛光面具...

光学玻璃抛光液是专为手机表面而研发的其操作简便，可视污渍的多少只需将光学玻璃抛光液用超声清洗、自动浸泡或手洗即可彻底清洁手机表面的各种污渍且不伤手机。光学玻璃抛光液具有抛光速度快、使用寿命长、良好的悬浮性、不沾附、能适合于各种材料的抛光,适合于抛光高精密玻璃,能有效解决材质划伤和抛光粉堆积造成的表面斑点现象。一、光学玻璃抛光液技术参数1、光学玻璃抛光液中心粒径d50：1um-1.5um2、光学玻璃抛光液PH值：7二、光学玻璃抛光液适用范围：光学玻璃抛光液***适用于精密光学器件、硬盘基片、液晶屏幕显示器等，高精密度光学玻璃抛光.光学镜头、光纤连接器、微晶玻璃基板、晶体表面等方面的精密抛光。什么...

氧化硅抛光液经过严格的粒径控制和专业的加工工艺。该产品抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。产品特点：1.分散性好、不结晶。2.粒径分布***：5-100nm。3.高纯度(Cu2+含量小于50ppb)，有效减小对电子类产品的沾污。4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液，纳米颗粒呈球形，单分散，大小均匀，粒径分布窄，可获得高质量的抛光精度。5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。使用方法：1.可根据抛光操作条件用去离子水进行5-20倍稀释。2.稀释后，粗抛时调节PH至11左右，精抛时调节PH至9.5左右。pH调节可以用10%的盐酸、醋酸、柠檬酸、KOH或氨水在充分搅拌下慢慢加入。3.循环...

纳米抛光液应用范围：1、透明陶瓷：高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。2、化妆品填料。3、单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。4、**度氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。5、精密抛光材料、玻璃制品、金属制品、半导体材料、塑料、磁带、打磨带。6、涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。7、气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。8、催化剂、催化载体、分析试剂。9、汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘哪家抛光液质量比较好一点？浙江硅抛光液性能光学玻璃抛光液是专为手机表面而研发的其操作简便，可视污渍的多少只需将光学玻璃抛光液用超声清洗、自动浸泡或手洗...

玻璃抛光液1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质，对环境友好。2.本产品具有抛光速度快、使用寿命长、良好的悬浮性、易清洗等特点。3.精密抛光。产品概述本产品是专门针对玻璃的一款高效抛光液，能快速去除表面缺陷，具有较好的化学物理抛光去除平衡，快速地抛出高质量表面，而且无划伤、阿拉比、青蛙皮等缺陷的产生。本产品适用于抛光高精密玻璃，能有效解决材质划伤和抛光粉堆积造成的表面斑点现象。主要成分：氧化铈/硅溶胶应用领域：1.适用于各种玻璃抛光，具有良好的抛光效果。2.适用于精密光学器件、硬盘基片、液晶屏幕显示器，高精密度光学玻璃抛光、光学镜头、光纤连接器、微晶玻璃基板、晶体表面等方面的精密抛...

氧化铝又称为刚玉，在摩氏硬度表中位列第9级，具有很大的硬度。又因有六角柱体的晶格结构，十分适合再研磨材料。且相对比钻石更低廉的价钱。所以氧化铝它成为研磨和抛光的好材料。氧化铝抛光液的特点氧化铝抛光液具有硬度高、磨削力强、适用范围广等优点。模氏硬度可达5500-8000kg/mm2。不易产生划痕，粒度分布范围窄，研磨后材料表面质量好，粒径有1.0CR、0.3CR、0.1CR、0.05CR几种可供选择。氧化铝抛光液的应用1、电子行业：电子行业单晶硅片的研磨以及PCB金相切片的研磨；2、装饰行业：不锈钢餐具及其它装饰材料的抛光；3、喷涂材料：等离子喷涂；4、光学玻璃冷加工。苏州性价比较好的抛光液的公...

化学机械作用研磨液：化学机械作用研磨液利用了磨损中的“软磨硬”原理，即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的抛光表面，是机械削磨和化学腐蚀的组合技术，它借助超微粒子的研磨作用和化学腐蚀作用在被研磨的介质表面形成光洁平坦表面。所以化学机械作用研磨液又称为化学机械抛光液(Chemical Mechanical Polishing,简称CMP)。在一定压力及抛光浆料存在下，被抛光工件相对于抛光垫作相对运动，借助于纳米粒子的研磨作用与氧化剂的腐蚀作用之间的有机结合，在被研磨的工件表面形成光洁表面。好的抛光液公司的标准是什么。广州物理抛光液用途硝酸铅、糊精、阿拉伯树胶：单独或协同运用可用作硝酸-氟化氢铵型...

依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等，对硅单晶片化学机械抛光（CMP）机理、动力学控制过程和影响因素研究标明，化学机械抛光是一个复杂的多相反应，它存在着两个动力学过程：（1）抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。（2）抛光表面反应物脱离硅单晶表面，即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程，要获得质量好的抛光片，必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作...