有些真空泵因为高速运动部件制造比较困难,微型化后性能会大幅下降。如宏观低真空比较常用的旋片泵,微型化时要保证旋片和腔体间严格密封以及高度耐磨,这对加工容差提出了很高的要求,迄今仍不能很好实现。利用先进LIGA(Lithographie,Galvaonoformung & Abformung) 技术实现的、与旋片泵原理比较接近的微型精密旋转齿轮泵,功能还只限于液体抽运,而不能有效用于实现真空[10]。宏观高真空比较常用的涡轮分子泵,虽然已有针对小型化的新设计提出[11],但因其高速叶轮和复杂结构制造与微加工兼容较差,目前只有部分采用微加工技术的准微型化样品[12],全MEMS 微加工技术的分子泵成品尚未见报道。降低转速提高蠕动泵管口径,蠕动泵的流量大小是通过蠕动泵头的转动产生的。供应商真空泵基础
无油活塞泵:它是一种利用活塞往复运动产生的泵吸气的真空设备,其工作原理是通过活塞的上下往复运动,使气体在泵筒内产生压缩和膨胀,从而产生负压来吸气。其广泛应用在医疗行业、电子制造、化工行业和食品行业等自动化设备领域。无需油,符合工业环保要求无油活塞真空泵在整个工作过程中,无需使用润滑油,无油活塞真空泵气缸内壁特殊处理,形成自润滑,不会产生油雾和废气,有效减少了对环境的污染,相对传统油式真空泵比较环保节能。在电机材质和设计上也独具匠心,电机能效比高,极低发热量,提高电机的运行效率和降低能源消耗,有效提高了节能环保的效果。供应商真空泵基础真空泵性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵具有低功耗,可集成优势对便携式系统和高真空微系统十分必要。
微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显,或当前关注度较高的微型化真空泵,主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成,它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化,利用单向阀门控制气体流向,实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单,膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物,驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺,使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成,构建片上型系统[17]。
三、如何选择微型真空泵1. 根据需求选择流量根据所需的吸气量和操作条件,选择合适的流量。目前市场上,流量从1L/min到100L/min的产品都有。2. 根据实际压强需要选择产品根据实际需要选择对应压强的产品,需考虑气缸负载、管路容积、流量需求等因素。3. 根据使用环境选择噪音低的产品如果是在办公室等工作环境,需选择噪音低的产品,以避免影响到工作效率和身体健康。微型真空泵的常见参数包括流量、压力、功率、比较大真空度和噪音等。正确理解这些参数对于选择合适的微型真空泵非常重要。在选择产品时,需根据自己的需求选择合适的流量、压力和噪音水平。在微型真空泵中,流量的大小决定了真空泵吸取气的速度和能力。通常,流量越大,真空泵的吸气能力越强。
提高蠕动泵工作效率的小技巧:蠕动泵管软管接头的选择蠕动泵所产生的吸力是由蠕动泵头的管轮总成挤压软管后软管回弹所产生的。因此,如果所需要传输的流体距离蠕动泵头过长或者软管接头扣边变小会使得吸入端的阻力变大,阻力变大是使蠕动泵软管回弹受然后造成实际传输流量损失严重。同理,如果输出端的软管过长或者软管接头口径变小会造成软管内输出阻力变大,造成输出流量变小。因此在选择蠕动泵软管接头的时候软管接头不要小于泵头装卡软管的口径。同时蠕动泵软管入口处也要尽可能短。5、关于流量在蠕动泵选型时理论流量应该大于实际的流量。因为蠕动泵泵管质地较软在其工作过程中产生的排挤压力和负压相对较小,所传输的流体如有粘度亦或者蠕动泵管长度较长,期间就会损失一定的流量,因此在选购蠕动泵的时候应该选择理论流量高于实际流量。根据蠕动泵的设计和制造,大部分蠕动泵目前在一定程度上可以干运转。甘肃便携式环境气体分析真空泵
蠕动泵具有无污染、精度高、可迅速更换泵管、流体可逆行、可以干运转、维修费用低等特点。供应商真空泵基础
无油活塞泵:免维护,使用寿命相对较长传统油式真空泵需要定期更换润滑油,而无油活塞真空泵不需要这样的维护,可以减少了工作人员的维护工作量。再者,无油活塞真空泵采用了比较密封技术和材料,使其在使用过程中摩擦损耗更小,使用寿命更长,减少了更换零部件的频率,提高了设备的稳定性和可靠性。匠心制造,精工铸造品质,增加产品使用寿命。产品配件采用进口品牌,外加合理的配合,确保产品经久耐用,以实测数据,无油活塞真空泵使用寿命≥2万小时。供应商真空泵基础