辽宁高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪价格

CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展，电子器件尺寸缩小，要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分，其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm，其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸，因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用！欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题！驰光机电提供周到的解决方案，满足客户不同的服务需要。辽宁高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪价格

高灵敏度：即使只有1微克样品，CPS也能得到一个准确的粒度分布结果。快速、高精度数模(A/D)转换：可用信号分辨率(即软件操作的数据对象)决定于数模转换(A/D)过程。CPS系统使用的数模转换可以实现在每秒31次取样时保持20位以上的精度，即百万分之一的误差。快速检测头响应：CPS系统的检测头和电路设计允许在95%精度下0.1秒的响应速度，而同类产品的响应时间为1-4秒。这一出众的快速移动峰值检测能力较大地扩展了测量的动态范围，比同类型产品提供高出4倍多的分析速度。辽宁高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪价格驰光机电科技具有一支经验丰富、技术力量过硬的专业技术人才管理团队。

为了提高粒径的测量精度，需要较高的圆盘转速，目前市面上常见的运行速度较高在15000RPM，而国内在1500RPM，无法满足CPM化学机械抛光的需求。CPS-24000纳米粒度仪的最高转速为24000转，测试范围在5nm-75um，每次加样只需要0.1ml，降低样液的测试成本，可连续测量多达40个样品。CPS纳米粒度分析仪的使用方法已经列入国标，包括《金属粉末粒度分布的测量-重力沉淀光透法》、《煤矿粉尘粒度分布测定方法》、《橡胶配合剂-炭黑-聚集体尺寸的测定-使用光跟踪盘式离心沉淀仪法》等。

提供数量、面积和体积等指标的平率分布图和表、累计分布图和表格粒度和粒型参数分布的结果；能够自动产生实验结果world报告。激光和视频分析产生的信息，很容易通过直观的数据报表软件得到。测量结果可以各种表格和图显示出来，这些表格和图可以由用户选择，以便正确显示需要的信息。通过数据挖掘技术，很容易实现数据比较和分析，允许对覆盖图和比较表进行编辑。轻点一下鼠标，就能生成Word格式的样品分析报告，该文件包括样品制备、粒径和粒形结果，还带有图像或视频信息。驰光机电敢于承担、克难攻坚。

使用CPS分析仪平行测定3次高纯氧化铝粉得到的叠加图，表明仪器的重复性较好，样品的粒径为0.586微米。分析氧化铝粉末时，为防止样品发生凝聚，需要添加入少量的乙酸。氧化锌ZnO粉末：氧化锌俗称锌白，是锌的一种氧化物。氧化锌是一种常用的化学添加剂，大量地应用于塑料、硅酸盐制品、合成橡胶、润滑油、油漆涂料、药膏、粘合剂、食品、电池、阻燃剂等产品的制作中。氧化锌的能带隙和激子束缚能较大，透明度高，有优良的常温发光性能，在半导体领域的液晶显示器、薄膜晶体管、发光二极管等产品中均有应用。山东驰光机电科技有限公司累积点滴改进，迈向优良品质！山西纳米粒度分析仪厂家

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磨料的粒度测量：以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用，CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米，典型的过大聚集体为1-10微米，并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸，同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒，提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%，粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。辽宁高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪价格