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宁波真空烘箱规格尺寸

来源: 发布时间:2023年08月27日

    热对流真空烘箱,包括真空箱体和密封门,真空箱体的箱口采用法兰面,此面与箱体密封门紧密贴合,避免真空泄漏。真空箱体内壁设置无孔镜面不锈钢板13、有孔镜面不锈钢板14,这两种不锈钢板组合配对装配,与无孔镜面不锈钢板14靠箱体内壁,有孔镜面不锈钢板13在箱体内表面,两钢板间距为5—15mm,无孔镜面不锈钢板用来反射热量,热量通过小孔回到箱体中,减少热量损失。在箱体顶部内壁设置有孔镜面不锈钢板12。箱体顶部和下部左右两边各设置有氮气进气口,可以实现氮气快速扩散到箱体内部各地方。真空箱体在工作的时候,真空度控制在10~50pa之间,温度控制在80~110℃,这样电池中的水份会变成水蒸汽扩散在箱体中,原箱体中也有少量的空气,真空干燥箱保温保压一段时间后,箱体中的水蒸汽达到一定的量后,为了将水蒸汽排出,需向箱体中充入氮气,因为氮气的分子质量比水蒸汽的分子质量大,为了能快速将水蒸汽排挤到箱体上方,方便将其从真空口抽出,所以在箱体下方布置2-3个进氮气进气口。这样的设置方式可以减少静置时间,氮气快速扩散,将水蒸汽排挤到箱体上方,再通过真空泵将水蒸汽抽出。真空箱体氮气进气口预先对氮气进行加热,因为氮气进到高温箱体中时。真空烘箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。宁波真空烘箱规格尺寸

真空烘箱

从结构上分析,一般的干燥箱外壳都是采用冷轧钢板制造,但是从厚度上将,差别却很大。由于真空干燥箱里面的真空环境,为防止大气压压坏箱体,其外壳厚度要较鼓风干燥箱大些许,一般是选择钢板越厚质量越好,使用寿命也越长。为便于观察,在干燥箱的箱门都设有玻璃窗,一般有钢化玻璃和镶嵌门上的普通玻璃,杭州宏誉智能科技有限公司生产干燥箱箱门全部采用钢化玻璃,虽价格稍贵,但是外观漂亮,对于操作人员的安全更是有力的保障。湖州易维护真空烘箱箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

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    COB生产流程:晶粒进料→晶粒检测→清洗PCB→点胶→粘晶粒→烘烤→打线→过境→OTP烧录→封胶→测试→QC抽检→入库。其中烘烤这一环节是很重要的一步之一,烘烤的目的是将前一道的工序中的胶烘干,使得IC在PCB上粘牢,以确保下一道工序中IC在打线过程中不会移动。不同的胶需要的烘烤时间和温度也是不一样的。缺氧胶烘烤温度90度烘烤10分钟,银胶烘烤温度120度烘烤90分钟,红胶烘烤温度120度烘烤30分钟。无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂胶后的软烘焙Softbaking),曝光、显影后的坚膜硬烘(Hardbaking)等工艺,适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。

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真空烘箱由高真空度真空泵,箱体,工作室,电加热器及数字温度器组成。能够在设定的真空度条件下稳定工作,适用于医药、化工、电子、器、材料、零件的真空乾燥处理。箱体外壳以冷扎板喷塑,美观悦目。内箱以不锈钢板密焊耐压工艺处理,配上门上的硅胶密封压垫,保证箱内的气密性,并采用玻璃纤维保温,提供高效绝热,节省能耗效果。发热板安装在内箱体四侧,以保证温度均匀性。广用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业作干燥之用,具有干燥物品速度快、污染小、不对干燥物品的内在质量造成破坏的优点。箱门可调节式松紧闭合。湖州易维护真空烘箱

真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。宁波真空烘箱规格尺寸

    真空干燥箱日常使用和维护:1、产品出厂前都经过严格的测试,一般不要进行修改,如使用时的环境恶劣,环境温度超出适宜范围,会引起温度显示值与箱内实际温度误差,如超出技术指标范围的,可以参照温度控制器操作说明按所需进行修正。2、仪器在正常工作状态下,如打开箱门时间过长,关上箱门后即使箱内温度有些变动,这也是正常现象。3、除维修外,不能拆开左侧箱体盖以免损坏电器控制系统。4、放气阀橡皮塞若旋转困难,可在内涂上适量油脂润滑。5、真空泵不能长时期工作,因此真空度达到干燥物品要求时,应先封闭真空阀,再封闭真空泵电源,待真空度小于干燥物品要求时,再打开真空阀及真空泵电源,继续抽真空,这样可延长真空泵使用寿命。6、干燥的物品如湿润,则在真空箱与真空泵之间比较好加进过滤器,防止湿润气体抽进真空泵,造成真空泵故障。7、真空干燥箱经多次使用后,会产生不能抽真空的现象,此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出间隔来解决。真空箱干燥温度高于200度时,有可能会产生慢漏气现象,此时拆开箱体背后盖板用内六角板手拧松加热器底座,调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8、真空干燥箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭。 宁波真空烘箱规格尺寸

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