金华加热功率比例可调真空烘箱PID调节

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行，所以不会氧化。金华加热功率比例可调真空烘箱PID调节

    本实用新型的一种新型的真空烘箱，其创新点在于：包括箱体、盖板、底板、侧板、连接装置、进水管、出水管和导流管；所述箱体与所述盖板相匹配，且二者之间螺接形成一水平设置的中空长方体结构；在所述箱体的内底面还水平螺接设有底板，且在所述底板的上表面左右两端还竖直对称固定设有侧板；在两个所述侧板之间还呈矩阵依次间隔设有数个导流管，每一所述导流管均为水平设置的中空圆柱体结构，且其两端分别水平延伸出两个所述侧板；上下相邻两个所述导流管的两端之间分别错位通过连接装置密封连接，并形成数个竖直设置的蜿蜒状结构；在上面一层所述导流管的上方还水平间隔设有数个进水管，每一所述进水管均为中空的l形圆管结构，且其短边一端均竖直向上延伸出所述盖板，每一所述进水管的长边一端均依次水平延伸出两个所述侧板，并分别通过连接装置与上面一层对应位置所述导流管的一端密封连接；在下面一层所述导流管的下方还水平间隔设有数个出水管，每一所述出水管均为中空的l形圆管结构，且其短边一端均竖直向下延伸出所述箱体，每一所述出水管的长边一端均依次水平延伸出两个所述侧板，并分别通过连接装置与下面一层对应位置所述导流管的一端密封连接。金华内置泵体真空烘箱PID调节可设定温度、测定温度。

    与普通干燥箱相比，真空烘箱突出的优势为它的加热方式。真空烘箱是四面安装有紧贴真空室外箱壁金属板的功率相同的电热丝，所以在电热丝在进行加热时，热量通过真空室的不锈钢金属壁辐射到工作室内，保证了工作室内的温度辐射热量相同，从而使得烘干中的物料保持均匀性。随着时间的推移和设备的使用，真空烘箱在工作中也暴露了许多缺陷。真空烘箱的维修很麻烦，对于电热丝烧断的维修，只能先把真空烘箱的大门拆掉，然后取下硅胶密封条并拆掉真空室的固定螺丝，再拆掉真空烘箱后面的盖板，取出所有的保温岩棉，拆卸出真空室。这样繁琐的步骤结束后才能更换新的电热丝并重新安装真空烘箱设备。此外，真空烘箱的温度上升慢、下降慢问题，给干燥工作带来一定的局限性，且真空实验结束后，还容易使得实验人员被真空室的四周金属壁烫伤，因此真空烘箱的安全性和人性化设计需要进一步改进。

维护保养：5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。8、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。9、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。10、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。11、点动电机，试看电机转向是否正确。12、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。本所物料的干燥周期，每隔一段时间观察一下，历力表，温度表，和箱体内的变化，来处理。

   电子元器件烘烤过程中静电防护：集成电路元器件的线路缩小，耐压降低，线路面积减小，使得器件耐静电冲击能力的减弱，静电电场和静电电流成为这些高密度元器件的致命危害。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用，导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动，空气流动，搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感，实际上，集成度高的元器件电路都很敏感。静电对电子元件的影响:1)静电吸附灰尘，改变线路间的阻抗，影响产品的功能与寿命。2)因电场或电流破坏元件的绝缘或导体，使元件不能工作（完全破坏）。3)因瞬间的电场或电流产生的热，元件受伤，仍能工作，寿命受损。外箱体表面采用先进的防静电烤漆,让电子元器件与热风空气摩擦产生的的静电随着外箱体导体泄放到大地。长方体工作室，使有效容积达到比较大，微电脑温度控制器，精确控温。金华真空泵抽湿真空烘箱定制

干燥完成后，先将放气阀打开，放出里面气体，再进行打开真空干燥箱箱门，取出物料。金华加热功率比例可调真空烘箱PID调节

    本实用新型的工作原理：首先将不同热量需求的原料放置在相应的支撑板13上，然后将热水源与每一个进水管6以及出水管8相连通，热水同时从每一个进水管6进入到每一层对应的导流管10内，并对支撑板13上的原料进行烘干，每一个导流管10内的热水经对应的出水管8流出，并回到热水源中进行加热以便再次循环使用。本实用新型的有益效果：（1）本实用新型结构简单，操作方便，可对不同原料进行加热烘干，烘干效果好、烘干效率高、适用范围广。（2）本实用新型中每一个进水管6与上层对应导流管10之间、上下相邻两个导流管10之间、下层每一个导流管10与对应出水管8之间均采用螺纹式快速连接，操作简单，使用方便，连接牢靠，保证了其内热水的稳定流动，从而提高了烘干效率。（3）本实用新型在每一个进水管6、出水管8以及导流管10内均沿其长度方向错位竖直设有上隔板11和下隔板12，用于降低热水的流速，从而提高了烘干效果。金华加热功率比例可调真空烘箱PID调节

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