江苏噪音小真空烘箱监控系统

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 广泛应用于医药,冶金,电子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行业。江苏噪音小真空烘箱监控系统

工业真空烘箱具有许多优势，以下是其中一些:1.高效干燥:真空烘箱在低压条件下加热，能够快速将水分从材料中脱除，提高了干燥效率。2.清洁表面:完全消除了加热过程中工件表面的氧化和脱碳，可以获得清洁的表面，而不会变质层3.环保性:无需三废处理，对环境无污染，并且在使用过程中不会排放任何废气或废水，对大气环境具有良好的保护作用。4.节能:采用良好的隔热材料和高效的加热室设计，可显著提高能源利用效率，降低能耗.5.温度控制精度高:通过热电偶等设备的精确测量和控制，可以实现±1.5℃℃甚至+5°C以内的温度控制精度6.机电一体化:在提高温度测量和控制精度的基础上，工件运动、气压调节、功率调节等都可以提前编程，实现自动化操作，降低人工成本。7.广泛的应用范围:可以应用于各种材料的干燥、烘烤、固化、脱气等工艺，特别适用于某些需要在真空环境中进行工艺处理的材料。金华加热功率比例可调真空烘箱监控系统干燥的物品如干燥后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网。

烘箱的用途：适用于烘烤有化学性气体及食品加工行业的欲烘烤物品、基板应力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。普遍使用于电子、电机、通讯、电镀、塑料、五金化工、食品、印刷、制药、PC板、粉体、含浸、喷涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、预热、定型、加工等。

烘箱工作原理：通过数显仪表与温感器的连接来控制温度，采用热风循环送风方式，热风循环系统分为水平式和垂直式。均经精确计算，风源是由送风马达运转带动风轮经由电热器，将热风送至风道后进入烘箱工作室，且将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环加热运用，如此可有效提高温度均匀性。如箱门使用中被开关，可借此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。烘箱主要技术参数及有关说明

烘箱优势：

1、耐用性较强：由于电热器被密封在箱体内，与外界空气接触面小，因此不易被氧化腐蚀。

2、内热循环：烘烤物件受热均匀。

3、电气控制安全精确可靠：结构合理，有效工作面积大，功能全，操作简单，维修调整方便，噪音小，可靠性高，成本低，能耗少，生产效率高。

工作原理：空气循环系统采用双电机水平循环送风方式，风循环均匀高效。风源由循环送风电机（采用无触点开关）带动风轮（Φ230）经由电热器，而将热风送出，再经由风道至烘箱内室，再将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环，加热使用。确保室内温度均匀性。当因开关门动作引起温度值发生摆动，可介此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。 双层钢化玻璃观察窗，工作状态一目了然。

在使用真空烘箱时，首先要确保操作环境的安全。因为真空烘箱通常在高温、高压下运行，所以应将其放置在通风良好、干燥且无易燃易爆物品的地方。操作人员必须经过专业培训，熟悉设备的性能及操作规程。在操作过程中，要时刻注意烘箱内的温度变化，避免温度过高导致样品燃烧或设备损坏。此外，真空烘箱的真空度也是关键参数，过高或过低的真空度都可能影响烘干效果。因此，使用前建议检查真空系统是否正常工作，确保真空度的准确性。真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，最高温度不得超过80C。上海无尘埃破坏真空烘箱监控系统

真空烘箱，是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。江苏噪音小真空烘箱监控系统

使用真空烘箱的正确步骤如下：

1.将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上，推入干燥箱内。

2.关紧箱门，放气阀，箱门上有螺栓，可使箱门与硅胶密封条紧密结合。

3.将真空泵与真空阀连接，开启真空阀，抽真空，依据真空泵的性能，抽到压力表为真空泵的极限值为准。

4.抽完真空后，先将真空阀门关闭，如果真空阀门关不紧，请更换，然后再将真空泵电源关闭或移除（防止倒吸现象产生）。

5.本所物料的干燥周期，每隔一段时间观察一下，历力表，温度表，和箱体内的变化，来处理。如果压力表指数下降，则可能存在漏气现象，可再进行抽气操作。

6.干燥完成后，先将放气阀打开，放出里面气体，再进行打开真空干燥箱箱门，取出物料。 江苏噪音小真空烘箱监控系统