真空烘箱调试调整

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。真空烘箱调试调整

    充氮真空烘箱(N2VacuumOvens)适用范围:适用于半导体、电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理。产品特点:1、迅速脱氧：该箱内胆采用不锈钢制造，箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接，密封性能较好，能快速脱氧；2、氮气功能：可充入氮气、氩气等惰性气体，实现气氛、无氧、降温之功能；3、高效率：稳定和快速的升温性能，有助于提高产品质量和效率；4、保温节能：箱体与工作室之间填充高密度纤维棉作保温材料，有效保温节能；5、密封性好：箱门与工作室外框设有耐高温无尘密封条和压紧装置,有效地保证了箱体的密封性能；6、置物架：工作室内设计可抽取的载物网板；7、美观简洁：设备外形美观，操作简便，控温灵敏准确；8、宽泛的温度范围选择。湖州真空泵抽湿真空烘箱真空箱应在相对湿度≤85%RH，周围无腐蚀性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。

    橡胶的种类随着室温硫化胶料的增加和高温硫化的出现，硫化温度趋向两个极端。从提高硫化效率来说，应当认为硫化温度越高越好，但实际上不能无限提高硫化温度。橡胶为高分子聚合物，高温会使橡胶分子链产生裂解反应，导致交联键断裂，即出现“硫化返原”现象，从而使硫化胶的物理机械性能下降。综合考虑各橡胶的耐热性和“硫化返原”现象，各种橡胶建议的硫化温度如下：NR比较好在140-150℃，比较高不超过160℃；顺丁橡胶、异戊橡胶和氯丁橡胶比较好在150-160℃，比较高不超过170℃丁苯橡胶、丁腈橡胶可采用150℃以上，但比较高不超过190℃；丁基橡胶、三元乙丙橡胶一般选用160-180℃，比较高不超过200℃；硅橡胶、氟橡胶一般采用二段加硫，一段温度可选170-180℃，二段硫化则选用200-230℃，按工艺要求可在4-24h范围内选择。

从保温效果来讲，聚氨酯的耐温与绝热效果要好于纤维棉，一般聚氨酯可以使箱体内的高温在大几个小时内保持稳定，值得一提的是，聚氨酯的高效绝热性能，可有效地防止箱体外温度过高烫伤操作员。纤维棉材质的干燥箱在高温时，只能靠温度控制器不停的控制与调节，保持箱内温度的稳定，这样增加了风机与控制器的工作强度，从而降低了干燥箱的使用寿命。再从后期维护来讲，由于聚氨酯是整个注塑到箱体内的，后期维修时特别繁琐，维修前需要将聚氨酯全部掏出来，修好后再注塑进去。而纤维棉不会这么麻烦，操作简单。从市场上讲，纤维棉的价格非常便宜，且可满足大部分的保温要求，运用广，杭州宏誉智能科技建议：纤维棉越细，厚度越大，保温质量越好。干燥箱的密封一般都是采用抗老化的硅橡胶，密封效果很好。真空烘箱能在较低温度下得到较高的干燥速率，热量利用充分。

由外及里，干燥箱的内胆有两种选择，一是镀锌板，二是镜面不锈钢。镀锌板在长期使用过程中容易生锈，不利于保养；镜面不锈钢外观整洁，易于保养，使用寿命长，属市场上较好的内胆材质，但是价格要稍高于镀锌板。 内胆的样品架子一般有两层，可根据客户的要求增添。由于样品架的质量是由不锈钢压制而成，且多增加的架子不利于内部热风的循环，加大风机的质量要求，所以每加一个架子的成本在三百元之间。国内干燥箱的保温材质主要是以纤维棉为主，少数采用聚氨酯。经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。湖州真空泵抽湿真空烘箱

利用真空泵进行抽气抽湿，使工作室内形成真空状态，降低水的沸点，加快干燥的速度。真空烘箱调试调整

真空烘箱有以下特点：短加热时间，与传统干燥烘箱比加热时间减少50%以上。真空烘箱因为是由电力提供热能，而湿的物品是会导电的，故在使用上宜小心不要有漏电的现象发生，故一般烘箱都要接地使用，以保安全。若没有地线也要确认烘箱没有漏电的现象；若有轻微的漏电现象，可试着将插座拔起后将插脚以相反方向再插入，若没有漏电现象可小心使用，若仍有漏电现象则应立即停用。广泛应用于医药,冶金,电子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行业。真空烘箱调试调整