从结构上分析,一般的干燥箱外壳都是采用冷轧钢板制造,但是从厚度上将,差别却很大。由于真空干燥箱里面的真空环境,为防止大气压压坏箱体,其外壳厚度要较鼓风干燥箱大些许,一般是选择钢板越厚质量越好,使用寿命也越长。为便于观察,在干燥箱的箱门都设有玻璃窗,一般有钢化玻璃和镶嵌门上的普通玻璃,杭州宏誉智能科技有限公司生产干燥箱箱门全部采用钢化玻璃,虽价格稍贵,但是外观漂亮,对于操作人员的安全更是有力的保障。利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。苏州双层钢化玻璃观察窗真空烘箱监控系统
真空烘箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它的工作原理是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。真空烘箱能在较低温度下得到较高的干燥速率,热量利用充分,主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒处理,干燥过程中不得有任何杂物混入,本干燥器属于静态真空干燥器,故干燥物料的形成不会损坏。加热方式有:蒸汽、热水、导热油、电热。上海噪音小真空烘箱定制将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上,推入干燥箱内;
本实用新型的目的是,提供一种保温效果好的真空烘箱,降低设备使用成本,并能高效排出水蒸汽。本实用新型采用的技术方案如下:热对流真空烘箱,包括真空箱体和密封门,真空箱体内壁设置无孔镜面不锈钢板、有孔镜面不锈钢板,这两种不锈钢板组合配对装配,无孔的靠箱体内壁,有孔的在箱体内表面,真空箱体上部和下部都设有氮气进气口。真空箱体顶部设置有孔镜面不锈钢板;无孔镜面不锈钢板与有孔镜面不锈钢板之间距为5—15mm,当部分热量辐射传到无孔不锈钢板后,热量通过有孔不锈钢板上的小孔传到箱体中,持续保持中心温度,达到降低设备功耗的目的。该实用新型与现有技术比具有以下效果:有孔镜面不锈钢板能有效地将板与板夹层中的温度通过小孔辐射到真空箱体中,并形成温度对流,减少热量损失。真空箱体顶部和下部两侧的氮气进气口,能快速将水蒸汽排挤到箱体上部,减少静置的时间,提高生产效率。使用时预先对氮气加热,可减少水珠的形成,尽量多地排出水蒸汽,提高烘干效率。
为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 干燥的物品如干燥后改变为重量轻,体积小(为小颗粒状),应在工作室内抽真空口加隔阻网。
真空烘箱设备包括了内胆的材料、控制器的选择、密封性、加热管的设计、线路的布置、以及外观的设计等设计内容,这些因素的选择与设计从一定程度上决定了真空烘箱的品质好坏和,因此,如果要使得真空烘箱达到理想的干燥效果,研发设计者必须认真对待每一个细小的因素,从部分到整体进行落实。,真空烘箱如何保持真空是关键。“主要的还是要密封,密封性能的好坏直接影响到真空度,简言之就是真空烘箱的密封圈损坏会直接影响到密封性,真空烘箱被应用在化工、制药行业,这些行业本身有化学成分,所以配件就很容易损耗。真空烘箱漏气很可能是因为密封圈已破损。烘箱硅橡胶是不耐腐蚀和酸碱性的,所以在使用的时候需要特别的注意,不能让液体直接接触到密封圈。真空烘箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。长方体工作室,使有效容积扩大,微电脑温度控制器,控温精确。技术的创新改进与研究是促进真空烘箱进步的主要源泉。真空泵内置泵体,噪音小易维护。宁波内置泵体真空烘箱定制
尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内。苏州双层钢化玻璃观察窗真空烘箱监控系统
操作流程1、将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上,推入干燥箱内;2、关紧箱门,放气阀,箱门上有螺栓,可使箱门与硅胶密封条紧密结合;3、将真空泵与真空阀连接,开启真空阀,抽真空;4、依据真空泵的性能,抽到压力表为真空泵的极限值为准;5、抽完真空后,先将真空阀门关闭,如果真空阀门关不紧,请更换,然后再将真空泵电源关闭或移除。(防止倒吸现象产生)6、本所物料的干燥周期,每隔一段时间观察一下,历力表,温度表,和箱体内的变化,来处理。如果压力表指数下降,则可能存在漏气现象,可再进行抽气操作;7、干燥完成后,先将放气阀打开,放出里面气体,再进行打开真空干燥箱箱门,取出物料。苏州双层钢化玻璃观察窗真空烘箱监控系统