随着集成电路技术的发展,半导体封装技术也在不断创新和改进,以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案,能够满足先进半导体封装的要求,被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑,并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前,基板上如果存在污染物,银胶容易形成圆球状,降低芯片粘结度。因此,在DB工艺前,需要进行等离子处理,提高基板表面的亲水性和粗糙度,有利于银胶的平铺及芯片粘贴,提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量,降低成本。在线式等离子清洗机的清洗过程是通过等离子激发来实现的。重庆晶圆等离子清洗机答疑解惑
芯片在引线框架基板上粘贴后,要经过高温使之固化。如果芯片表面存在污染物,就会影响引线与芯片及基板间的焊接效果,使键合不完全或粘附性差、强度低。在WB工艺前使用等离子处理,可以显著提高其表面附着力,从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性,提升WB工艺质量。在FlipChip(FC)倒装工艺中,将称为“焊球(SolderBall)”的小凸块附着在芯片焊盘上。其次,将芯片顶面朝下放置在基板上,完成芯片与基板的连接后,通常需要在在芯片与基板之间使用填充胶进行加固,以提高倒装工艺的稳定性。通过等离子清洗可以改善芯片和基板表面润湿性,提高其表面附着力,进而影响底部填充胶的流动性,使填充胶可以更好地与基板和芯片粘结,从而达到加固的目的,提高倒装工艺可靠性。重庆大气等离子清洗机生产企业摄像头模组需在DB前、WB前、HM前、封装前进行真空等离子清洗,活化材料表面,提高亲水性和黏附性能。
随着汽车行业标准的逐渐提高,消费者购车时对车辆的外观、内饰、智能化的要求也随之提高。新的需求推动了新技术和新材料的应用,目前,等离子处理技术正被积极应用在汽车内外饰行业中,该技术通过高密度的等离子体对材料表面进行表面清洗活化和改性处理,提升材料的表面性能,从而提高内外饰件粘接、贴合、植绒等工艺段质量,汽车内外饰件品质与技术的双重飞跃。汽车大尺寸内饰塑胶件普遍呈弯曲、凹凸等非平面造型,火焰法处理与常压等离子均处理时会存在无法处理到的死角,使用大腔体真空等离子可高效、均匀进行表面活化处理,提高润湿性,从而提高粘接强度,不同规格的内饰件可定制相应尺寸的腔体。
相较于传统的清洗方法,如化学清洗、机械清洗等,等离子清洗机具有明显的技术优势。首先,等离子清洗过程无需使用溶剂或水,因此不会产生废液或废水,减少了环境污染,符合现代工业的绿色生产要求。其次,等离子清洗能够深入到材料表面的微细孔隙和凹陷处,实现、无死角的清洁,有效去除传统方法难以触及的污染物。再者,等离子清洗过程温和且可控,不会对材料基体造成损伤,尤其适合处理精密、脆弱的部件。此外,等离子清洗还能通过调整气体种类和工艺参数,实现对材料表面性质的精确调控,如提高表面润湿性、促进化学反应等。这些技术优势使得等离子清洗机在微电子制造、光学元件清洁、医疗器械消毒、航空航天材料预处理等多个应用场景中展现出强大的竞争力。在光伏电池制程中,等离子表面处理可用于玻璃基板表面活化,阳极表面改性,涂保护膜前处理等。
Plasma封装等离子清洗机,顾名思义,其主要在于利用等离子体(Plasma)这一高能态物质对材料表面进行深度清洁与改性。在真空环境下,通过高频电场激发工艺气体,使其电离形成等离子体。这些等离子体中的高能粒子、自由基等活性物质,能够迅速与材料表面的污染物发生反应,将其分解为挥发性物质并被真空泵抽走,从而实现表面的深度清洁。同时,等离子体还能与材料表面分子发生化学反应,引入新的官能团,实现表面改性。相比传统清洗方法,Plasma封装等离子清洗机具有无需化学溶剂、无废水排放、环保节能、处理速度快、效果明显等优势。大气等离子清洗机,适用于各种平面材料清洗,在动力电池领域,可搭配旋转头使用。北京半导体封装等离子清洗机生产企业
在线式等离子清洗机的清洗过程是在真空环境中进行的,不会对人体和环境产生污染。重庆晶圆等离子清洗机答疑解惑
片式真空等离子清洗机针对半导体行业,DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、FlipChip(FC)倒装工艺等,能够大幅提高其表面润湿性,保证后续工艺质量,从而提高封装工艺的可靠性。设备优势:1.一体式电极板结构设计,等离子体密度高,均匀性好,处理效果佳2.双工位处理平台,四轨道同时上料,有效提升产能3.可兼容多种弹匣尺寸,可自动调节宽度,提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能4.工控系统控制,一键式操作,自动化程度高。行业应用:1.金属键合前处理:去除金属焊盘上的有机污染物,提高焊接工艺的强度和可靠性2.LED行业:点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度,减少气泡,提高发光率3.PCB/FPC行业:金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜,去除静电及有机污染物重庆晶圆等离子清洗机答疑解惑